好的潔凈室設計不僅能節省能源、降低運行成本、降低人力投入，而且可以給生產(chǎn)提供安全可靠的保證。

    在潔凈系統中，FFU循環(huán)系統運行成本最低，潔凈度安全性最高，因此集成電路潔凈廠(chǎng)房多采用FFU循環(huán)系統。而潔凈度要求越高，溫濕度控制精度越高則潔凈室投資和運行成本越高，因此在大環(huán)境潔凈度或溫濕度要求相對較低的情況下，將一些關(guān)鍵的工藝設備布置在較高潔凈度或溫濕度控制區域內(比如潔凈隧道和微環(huán)境)是集成電路制造潔凈廠(chǎng)房的設計趨勢。