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無(wú)塵車(chē)間潔凈度定期檢測制度/測量標準
1 為了保證潔凈室的潔凈度滿(mǎn)足工藝要求，必須定期對潔凈室內的潔凈度進(jìn)行檢測。
2 檢測測試設備：激光粒子記數器
3 檢測周期：每周一上午、下午對各潔凈區域進(jìn)行一次檢測
4 檢測條件：靜態(tài)潔凈度測試
5 數據收集整理：將每次檢測的結果輸入監控室的電腦中儲存，并在每個(gè)季末（或下季度初）給各部門(mén)發(fā)該季度的潔凈度記錄圖表電子檔通報給各部門(mén)。
6 各潔凈區域潔凈級別標準：按照《半導體公司能源管理標準》要求執行。
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區域、系統名稱(chēng) |
潔凈等級標準 |
相當于ISO級別 |
等效于GB級別 |
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K-1系統 劃片區域
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靜態(tài)1萬(wàn)級
K-1系統改造前為靜態(tài)10萬(wàn)級 |
CLASS 7
CLASS 8 |
CLASS 7
CLASS 8 |
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K-2系統 包封區域 |
靜態(tài)30萬(wàn)級 |
CLASS 8．3 |
CLASS 8．3 |
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K-3系統 搪錫區域 |
靜態(tài)30萬(wàn)級 |
CLASS 8．3 |
CLASS 8．3 |
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K-4系統 測試區域 |
靜態(tài)30萬(wàn)級 |
CLASS 8．3 |
CLASS 8．3 |
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K-8系統 電鍍區域 |
靜態(tài)30萬(wàn)級 |
CLASS 8．3 |
CLASS 8．3 |
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現有其他空調系統 |
舒適性空調系統，無(wú)潔凈要求 |
Not Applicable |
Not Applicable |
7 潔凈室用凈化空調系統及設備的維護管理與相應的操作規程、維修制度等（包括凈化空調系統和潔凈室相關(guān)的公用動(dòng)力系統的設備、管線(xiàn)等管理維護，如，空氣過(guò)濾器、空調機、局部?jì)艋O備、冷凍機及水泵、純水設備、配電設備、安全報警設施等）執行公司廠(chǎng)務(wù)部相關(guān)SOP文件。
8 參考文件
² FSD-SOP-01 《供電操作指導書(shū)及規范制度》
² FSD-SOP-4-1 《AHU系統操作指導書(shū)》
² FSD-SOP-4-2 《洗氣塔操作指導書(shū)》
² FSD-SOP-4-3 《鍋爐操作指導書(shū)》
² FSD-SOP-4-4 《制冷機操作指導書(shū)》
² FSD-SOP-06 《廠(chǎng)務(wù)部安全操作規程》
² FSD-SOP-07 《設備維護保養流程》
² FSD-SOP-08 《消防系統操作指導書(shū)》
² FSD-SOP-12 《廠(chǎng)務(wù)部運行管理制度》
² FSD-SOP-13 《市政動(dòng)力能源中斷緊急應變計劃》
² FSD-SOP-20 《廠(chǎng)務(wù)核心機組應急切換操作指導書(shū)》
² ATD1210C 《能源管理標準》
² JVP1301C 《公共設施管理規定》
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