潔凈工作區空氣潔凈度的測試方法 對于粒徑大于或等于0.5微米的塵粒計數,宜采用光散射粒子計數法。對于粒徑大于或等于5微米的塵粒計數。也可采用濾膜顯微鏡計數法。
光散射粒子計數法: 1、光散射粒子計數器采樣量 100級:每次采樣量大于或等于1升。 l,000級-l0,000級:每次采樣量大于或等于0.3升。 100,000級:每次采樣量大于或等于0.1升。 對于100級潔凈室,宜采用大流量粒子計數器進(jìn)行測試;如果條件不具備時(shí),可采用每次采樣量不小于1升的粒子計數器。
2、采樣注意事項 (1)采樣管必須干凈,連接處嚴禁滲漏。 (2)采樣管的長(cháng)度,應根據儀器的允許長(cháng)度。當無(wú)規定時(shí),不宜大于1.5米。 (3)采樣管口的流速,宜與潔凈室斷面平均風(fēng)速相接近。測試人員應在采樣口的下風(fēng)側。 (4)采樣順序應按含塵濃度從低到高進(jìn)行。
3、測點(diǎn)布置 (l)檢測在潔凈工作區內進(jìn)行。當生產(chǎn)工藝無(wú)特殊要求時(shí),取樣高度宜為離地面1米。 (2)層流潔凈室測點(diǎn)總數不小于20點(diǎn),測點(diǎn)間距為0.5~2.0米,粒徑大于或等于0.5微米的塵粒數允許有一個(gè)點(diǎn)超過(guò)。水平層流潔凈室測點(diǎn)僅布置在第一潔凈工作區內。 (3)亂流潔凈室可按潔凈面積小于或等于50平方米布置5個(gè)測點(diǎn)。每增加20-50平方米,增加3--5個(gè)測點(diǎn)。
4、數據整理 (1)每個(gè)測點(diǎn)的數據整理應在測試儀器穩定運行的條件下連續三次采樣,取其平均值,即為該點(diǎn)的實(shí)測數值。 (2)對于大于或等于0.5微米的塵粒數確定:層流潔凈室取各測定點(diǎn)最大值,亂流潔凈室取各測點(diǎn)的平均值。
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