高級別潔凈室的建造費用很高，一般來(lái)說(shuō)，100級垂直單向流的潔凈室，其室內裝修（墻、頂、地、門(mén)、窗等）和空調凈化系統（包括制冷空調設備和管道配件、凈化設備和配件等）的初投資大約為10000元人民幣/m2；如果加上純水制備設備和系統管道，純氣發(fā)生和系統管道，廢水治理設備和管道，消防系統，供配電和自控系統，真空清掃系統等等，其單位面積的建造投資費用要高達25000~30000元人民幣/ m2。

就拿已投產(chǎn)的上海華虹NEC超大規模集成電路芯片生產(chǎn)線(xiàn)潔凈室舉例來(lái)說(shuō)，華虹NEC為月投片30000片8"硅片集成電路前工序生產(chǎn)線(xiàn)，有潔凈室面積約12000m2，其中10000 m2是在中心部位，另2000 m2在邊跨上。在中心部位的10000 m2潔凈室中有4000 m2的1級、10級和100級的垂直單向流潔凈室，另外6000 m2分別為1000級和10000級的非單向流潔凈室，總送風(fēng)量約6,400,000 m3/h。于1998年底建成投產(chǎn)。

該項目總投資約100億人民幣，其中動(dòng)力設備和土建投資為20億人民幣，占總投資的五分之一。單核心部分的10000 m2的潔凈室的建造費用就高達6000萬(wàn)美元（約5億人民幣）（日本三機株式會(huì )社施工），折合每平方米建造費用約50000元人民幣/ m2。