根據潔凈室空氣循環(huán)特點(diǎn)可以將潔凈室分為三種類(lèi)型：循環(huán)空調機配合高效送風(fēng)口系統、循環(huán)風(fēng)機配合濕式密封系統和FFU(風(fēng)機過(guò)濾單元)循環(huán)系統。 

    第一種形式在小規模低等級要求的潔凈室設計中被廣泛應用，對于大面積高等級的潔凈室則存在運行成本過(guò)高、占用空間過(guò)大等缺點(diǎn)。 

    第二種形式的設計可以滿(mǎn)足集成電路制造潔凈室大面積高等級的要求，但運行成本較高，并且潔凈室風(fēng)速、風(fēng)量調節困難，系統升級改造困難，因此操作靈活性很低。 

    第三種的FFU循環(huán)系統不僅節省運行空間、潔凈度安全性高、運行成本低，而且操作靈活性很高，可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時(shí)進(jìn)行系統升級和調整，這些都能很好地滿(mǎn)足半導體制造的需求，因此在半導體制造業(yè)FFU循環(huán)系統逐漸成為最主要的潔凈設計方案。 

    FFU循環(huán)系統的特點(diǎn)是：整個(gè)潔凈室由靜壓層、工藝層、工藝輔助層和回風(fēng)通道組成，由FFU提供循環(huán)空氣的動(dòng)力，將新風(fēng)、循環(huán)風(fēng)混合后通過(guò)超高效過(guò)濾器送入工藝層和工藝輔助層，靜壓層相對于工藝層為負壓。此外，還有生產(chǎn)輔助區為集成電路制造廠(chǎng)務(wù)設備區域，包括電力供應、氣體和化學(xué)品供應、超純水供應等。