空氣由空調箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內之空氣過(guò)濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈室,并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線(xiàn)型運動(dòng)而呈不規則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。
定義:氣流以不均勻速度不平行流動(dòng)、伴有回流或渦流的潔凈室。
原理:亂流潔凈室靠送風(fēng)氣流不斷稀釋室內空氣,將污染空氣逐漸稀釋?zhuān)瑏?lái)實(shí)現潔凈的(亂流潔凈室一般設計在千級以上至30萬(wàn)級凈化級別)。
特性:亂流潔凈室是靠多次換氣來(lái)實(shí)現潔凈與潔凈級別。換氣次數決定定義中的凈化級別(換氣次數越多,凈化級別越高)
。1)自?xún)魰r(shí)間:是指潔凈室按設計換氣次數開(kāi)始送風(fēng)到潔凈室,室內含塵濃度達到所設計的凈化級別的時(shí)間。 1,000級希望不超過(guò)20min(分鐘) (可取15min計算) 10,000級希望不超過(guò)30min(分鐘) (可取25min計算) 100,000級希望不超過(guò)40min(分鐘) (可取30min計算)
。2)換氣次數(按上述自?xún)魰r(shí)間要求設計)1,000級 43.5—55.3次/小時(shí) (規范:50次/小時(shí)) 10,000級 23.8—28.6次/小時(shí) (規范:25次/小時(shí)) 100,000級 14.4—19.2次/小時(shí) (規范:15次/小時(shí))
優(yōu)點(diǎn):構造簡(jiǎn)單、系統建造成本,潔凈室之擴充比較容易,在某些特殊用途場(chǎng)所,可并用無(wú)塵工作臺,提高潔凈室等級。
缺點(diǎn):亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出,易污染制程產(chǎn)品。另外若系統停止運轉再激活,欲達需求之潔凈度,往往須耗時(shí)相當長(cháng)一段時(shí)間。
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