近年來(lái)潔凈廠(chǎng)房出現三種系統模式，主要的區別在于循環(huán)風(fēng)系統，通常有分散式循環(huán)風(fēng)機組（Recirculating Air Handing Unit）、風(fēng)機豎井（Fan Tower Unit）和風(fēng)機過(guò)濾器機組（Fan-Filer Unit簡(jiǎn)稱(chēng)FFU）。

1 分散式循環(huán)風(fēng)機組（Recirculating Air Handing Unit）
這種循環(huán)風(fēng)機組是分散布置的組裝式空氣處理機組，典型為干式冷盤(pán)管與離心風(fēng)機組成。直接安裝在潔凈工藝層的上部，回風(fēng)豎井布置在大樓的兩側，離心風(fēng)機能夠產(chǎn)生足夠的壓頭（650Pa左右）來(lái)滿(mǎn)足氣流流經(jīng)回風(fēng)通路上各個(gè)部件所需要的靜壓，也可大大延長(cháng)末端過(guò)濾器的壽命。但是當總流量增加太大時(shí)，風(fēng)機尺寸、成本、風(fēng)機產(chǎn)生的噪聲也相應增大。送風(fēng)靜壓箱設置在送風(fēng)機組和過(guò)濾器頂棚之間，使得送風(fēng)靜壓箱內的壓力仍高于潔凈工藝層。

2 風(fēng)機豎井（Fan Tower Unit）
可利用大樓兩側（或隧道）空間安裝循環(huán)機組，則軸流風(fēng)機最為合適。并將消聲器結合一起，相當緊湊高效，因此也很經(jīng)濟。由于屋架不必承受循環(huán)機組，負載可減輕，建筑結構也合理。在屋頂和過(guò)濾器吊頂之間布置送風(fēng)靜壓箱，送風(fēng)靜壓箱內的壓力高于潔凈工藝層，為此不得不采用液槽密封。即在頂棚格柵中的液槽內灌入了非牛頓液體的密封膠，周圈帶刀口的空氣過(guò)濾器插入密封膠中，造成了與液式頂棚格柵之間的氣密性密封。安裝與變更空氣過(guò)濾器（或盲板）也較方便。軸流風(fēng)機的優(yōu)勢是能夠以相對較低的靜壓高效地輸送更多的空氣，并可方便、高效地變化風(fēng)量。它所產(chǎn)生的靜壓與流量比完全符合典型的高級別潔凈室運行工況。

3 風(fēng)機過(guò)濾器機組（Fan-Filer Unit簡(jiǎn)稱(chēng)FFU）
典型的風(fēng)機過(guò)濾器機組由內裝式離心機、消聲裝置和高效過(guò)濾器（HEPA或ULPA過(guò)濾器）所組成，緊湊組裝在一金屬盒里。在潔凈工藝層的頂棚上可以隨意按照工藝要求直接設置風(fēng)機過(guò)濾器機組（或盲板），以形成不同級別的潔凈區。風(fēng)機過(guò)濾器機組用于循環(huán)風(fēng)循環(huán)十分簡(jiǎn)便，但是不能產(chǎn)生太大的靜壓�？諝馔ㄟ^(guò)機組內部的消聲段和末端過(guò)濾器后幾乎沒(méi)剩下多少動(dòng)力來(lái)克服外部系統的阻力。