潔凈室特種設施的安裝規范

（一）一般規定

1、 特種設施的安裝施工，應符合下列規定：

 （1）相關(guān)的土建工程己驗收合格，并辦理交接手續；

  （2） 應按工程設計文件和相關(guān)設備出廠(chǎng)技術(shù)說(shuō)明要求進(jìn)行安裝；

   （3）各種設備及其附件、材料（包括填充材料）已進(jìn)行現場(chǎng)檢查、檢驗，并應符合工程設計和設備技術(shù)要求。認真并進(jìn)行進(jìn)場(chǎng)記錄。

2、 對氣密性、滲漏性控制嚴格的特種設施的設備、附件等，安裝前應嚴格檢查密封狀況，若發(fā)現異常，應與供貨商共同檢查，經(jīng)確認不影響使用功能后才能進(jìn)行安裝。

3、 對特種設施的承壓設備、附件，應具有壓力試驗、無(wú)損探傷等有效檢驗合格文件。無(wú)合格文件者，不得進(jìn)行安裝。

4、有爆炸危險或有毒的氣體、液體、有機溶劑等相關(guān)的設備、附件，應具有有效檢驗的合格文件，不符合規定者不得進(jìn)行安裝。

5、 分類(lèi)、分系統進(jìn)行安裝質(zhì)量驗收，一般宜與供應系統的試運轉結合進(jìn)行。

6、有防靜電接地要求的設施，在安裝就位或系統管道安裝完成后進(jìn)行可靠接地。

（二） 高純氣、特種氣體供應設施的安裝

1、 管路系統的試運轉應包括管路吹掃、氣密性、泄漏性試驗和純度測試。

2、 高純氣體、特種氣體供應設施安裝前，應按工程設計文件和產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)或合約的要求，

檢查設備（包括填充的純化材料等）、閥門(mén)和管件的完整性、密封性，并作檢查記錄。

3、純化設備、特氣柜的搬運、就位應符合下列規定：

    （1） 搬入潔凈室（區）前，應進(jìn)行認真的清潔，符合要求后從規定的設備搬入口運入；

    （2） 整體設備搬運時(shí)，應按設備的構造、管道及閥門(mén)等附件的配置狀況安全運輸，不得倒置，并可靠固定；

     （3）設備就位時(shí)，應按工程設計文件和產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)要求，準確做好接管、接線(xiàn)定位；

     （4）就位后，水、電接口應按工程設計文件要求連接；

     （5）氣體管道接口，應在分系統的氣體輸送管道安裝試運轉合格后才能連接。

 4、高純氣體、特種氣體系統的閥門(mén)箱、吹掃盤(pán)的安裝，應符合下列要求：

      （1）檢查箱體及箱內閥門(mén)、儀表和附件的完整性、密封性和合格證書(shū)等，并作好記錄；

     （2）安裝位置應按工程設計文件、產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)要求進(jìn)行，并檢查接管、接線(xiàn)方位的正確性；

      （3）氣體管道接口，應在所在系統試運轉合格后才能連接。

5、高純氣體、特種氣體設施施工安裝試運轉的純度測試，應符合下列要求：

      （1）純度測試介質(zhì)，宜采用工作氣體進(jìn)行；

     （2）測試氣體的壓力，宜與輸送介質(zhì)的設計壓力相同；

    （3）測試氣體的檢測取樣口或排氣接口，應設在供氣系統中要求氣體純度及其雜質(zhì)含量最嚴格且距離最長(cháng)的用氣設備處；

      （4）純度測試過(guò)程，取樣時(shí)間的間隔宜為4h左右；氣體樣品應采用與輸送介質(zhì)純度及允許雜質(zhì)含量相應的精度等級的儀器進(jìn)行分析；

      （5）當測試氣體的進(jìn)、出口的純度及其雜質(zhì)含量（一般以氧痕量濃度、水痕量濃度為代表）一致時(shí)，即認為純度測試合格。

6、管路系統的試驗應符合下列要求：

   （1）高純氣體、特種氣體供應設施的強度試驗、氣密性試驗和泄漏量試驗及試驗壓力，

均應按工程設計文件要求；

   （2）試驗氣體宜采用無(wú)油干燥壓縮空氣或純氮或氦氣；試驗氣體壓力按規定逐步升至系

統強度試驗壓力后，保持10min，然后降壓至氣密性試驗壓力，檢查接口、焊縫是否泄漏，

以不漏為合格；

   （3）氣密性試驗合格后，進(jìn)行泄漏量試驗，試驗氣體為純氮或無(wú)油干燥壓縮空氣時(shí)，系

統以設計壓力保持24h，檢查泄漏率不超過(guò)0.5％為合格。采用氦氣為試驗氣體時(shí)，系統以

設計壓力保持1h，檢查泄漏率不超過(guò)0.5％為合格。若不合格，檢查原因并進(jìn)行完善后，再

進(jìn)行泄漏量試驗，直至合格為止；

   （4）管路系統的試驗，一般均不包含純化設備、特氣柜和閥門(mén)箱等。

7、管路吹掃應符合下列要求：

    （1）應按氣體品種、工作參數分系統分別進(jìn)行吹掃；

   （2）管路系統應采用0.3.0.5MPa的無(wú)油干燥壓縮空氣或純氮進(jìn)行吹掃，吹掃氣體應設置過(guò)濾精度嚴于0.31tm氣體過(guò)濾器去除微粒；對輸送可燃氣體的管路宜采用純氮吹掃；

（3）在管路系統吹掃氣體排出口設靶檢查，以靶上未見(jiàn)微粒為合格；對輸送可燃氣體的管路系統，應以排出口吹掃氣體中含氧量小于1％為合格。

（三）純水供應設施的安裝

1、純水供應設施安裝前，應按工程設計文件和產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)或合約的要求檢查、核對設備

（包括填充的材料、元件等）、閥門(mén)和管件的完整性、密封性，并作好檢查、核對記錄。

2、純水管道及其閥門(mén)、附件的材質(zhì)，應按工程設計文件和產(chǎn)品生產(chǎn)要求進(jìn)行選擇。

3、單體設備的搬運、就位應符合下列要求：

   （1）搬入潔凈室（區）內的單體設備，應進(jìn)行認真清潔后才能搬入；

（2）裝有填料或元件的單體設備，應按要求的方向進(jìn)行搬運、就位，不得倒置；

    （3）單體設備就位時(shí)，應按工程設計文件和產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)要求，正確進(jìn)行定位。

 4、潔凈室（區）內純水末端處理設備的安裝，應符合下列要求：

      （1）純水管道接管，應在純水系統安裝后經(jīng)試驗及試運轉合格后連接；

      （2）接管、接線(xiàn)后，應按工程設計文件和產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)進(jìn)行試運轉。

 5、藥品和保健品等生產(chǎn)用純水系統的安裝，應符合下列要求：

     （1）根據使用特點(diǎn)和工程設計文件要求，準確選擇管路材質(zhì)、閥門(mén)、附件，并不得對水質(zhì)產(chǎn)生污染和引起腐蝕或損傷；

    （2）系統安裝完成后，按規定進(jìn)行試驗、試運轉，合格后按使用要求進(jìn)行清洗或消毒滅菌，達到規定指標后，宜循環(huán)待用。

  6、管道系統的試驗、試運轉，應符合下列要求：

（1）管道系統的試驗應按工程設計文件要求進(jìn)行水壓試驗。

（2）管道系統的試驗、試運轉，通常不包括末端處理裝置等；

    （3）試驗合格后，以同等水質(zhì)的純水進(jìn)行清洗，直至在管路末端無(wú)雜質(zhì)、污染物為合格；

    （4） 有特殊要求的純水系統，應按設計要求進(jìn)行脫脂、清洗、鈍化、合格后，并按規定進(jìn)行消毒滅菌，

  （5）純水水質(zhì)試驗，以本系統同樣水質(zhì)的純水進(jìn)行試驗，水質(zhì)分析采樣日應為水質(zhì)要求最嚴格且距離最長(cháng)的用戶(hù)末端處：取樣時(shí)間間隔為2-4h，以系統的始端、末端的水質(zhì)相同為合格。

 7、管道清洗應符合下列要求：

      （1）管道清洗先以清潔水沖洗，末端檢查無(wú)雜物后，以同等水質(zhì)的純水清洗；

     （2）清洗時(shí)，應關(guān)斷所有接至單體設備的閥門(mén)，管道系統的過(guò)濾器濾芯應卸下，待清洗合格后原樣恢

（四） 化學(xué)品供應設施的安裝

1、 本節適用于潔凈廠(chǎng)房中工業(yè)產(chǎn)品生產(chǎn)所需的酸、堿、有機物質(zhì)等化學(xué)品供應設備、輸送管路系統的安裝施工質(zhì)量驗收。

2、 化學(xué)品供應設施安裝前，應按設計文件和產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)的要求或合約規定檢查設備、容器、閥門(mén)和附件的完整性和密封性等，并作檢查記錄。

3、 化學(xué)品供應設施中的各類(lèi)泵的安裝施工應符合現行國家標準《壓縮機、風(fēng)機、泵安裝工程施工及驗收規范》GB 50275的規定。

4、 潔掙室（區）內化學(xué)品輸送管道系統的閥門(mén)箱等的安裝，應符合下列要求：

   （1）檢查箱體及箱內閥門(mén)、儀表和附件的完整性、密封性和合格證書(shū)，并作好檢查記錄；

   （2）就位安裝應按工程設計文件、產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)要求進(jìn)行，并檢查接管、接線(xiàn)方位的正確性；

   （3）各種管道的連接，應在所在系統吹掃或清洗合格后進(jìn)行。

5、化學(xué)品供應設施的容器、管道及其閥門(mén)、附件的材質(zhì)，應符合工程設計文件要求。

6、容器的搬運、安裝就位，應符合下列要求：

  （1）搬入潔凈室（區）前，應進(jìn)行清潔，符合要求后從規定的搬入口運入；

  （2）容器搬運，應根據容器結構、規格尺寸及接管配置狀況，進(jìn)行可靠的固定，不得倒置；

  （3）就位前，檢查基礎平整度、高度，基礎表面的水平度不得大于2%，標高偏差不大于2mm；

  （4）容器各接管中心與基礎面上的基準線(xiàn)對準、測量，其允許偏差為3mm；

  （5）容器安裝就位后的垂直度，不應大于2‰。

7、 化學(xué)品供應設施的低碳不銹鋼管、PE管、PVDF管等的管道系統安裝施工見(jiàn)相關(guān)規定。

 8、 管道吹掃或清洗，應符合下列要求：

   （1）按各種化學(xué)品供應系統，分別在安裝完成后分系統進(jìn)行吹掃或清洗；

   （2） 吹掃或清洗宜采用干燥壓縮空氣或純氮或清潔水，吹掃介質(zhì)壓力為0.2-0.3MPa：吹掃管道應設置過(guò)濾精度嚴于0.單m的過(guò)濾器；

（3） 吹掃清洗時(shí)，應關(guān)斷所有接至各類(lèi)容器的閥門(mén)；管道系統的過(guò)濾器濾芯，流量計應卸下，待吹掃后按原樣恢復；

  （4） 各系統的吹掃應反復多次沖擊進(jìn)行，吹掃時(shí)間不宜少于2.0h，并以濕的白色濾紙或白布或涂有白色漆的靶板放在吹掃氣排出口，經(jīng)5min后檢查微粒狀況。不合格時(shí)，繼續吹掃，直至合格。

9、 管道系統的試驗、試運轉應符合下列要求：

    （1） 管道系統的試驗應按工程設計文件要求進(jìn)行強度試驗、氣密性試驗，金屬管道的試驗方法參照現行國家標準《工業(yè)金屬管道工程施工及驗收規范》GB 50235的規定進(jìn)行；

   （2）管道系統的試驗、試運轉，通常不包括各類(lèi)容器、泵類(lèi)等設各；

   （3）承壓管道應進(jìn)行強度和嚴密性試驗，強度試驗的試驗壓力為設計壓力的1.5倍，嚴密性試驗的試驗壓力為設計壓力的1.15倍。非承壓管道應進(jìn)行滿(mǎn)水試驗；

（4） 試驗合格后，以純水或氮氣進(jìn)行清洗吹掃，直至末端無(wú)雜質(zhì)、污染物為合格。