1、潔凈度萬(wàn)級(209E）：

對于0.5μm粒徑的塵�！�350顆/L；

5μm粒徑的塵�！�3顆/L；

其余參照GB50333-2002執行。 

2、物理微環(huán)境檢測項目：

1）空氣潔凈度；

2）溫、濕度；

3）高效過(guò)濾器面風(fēng)速；

4）送風(fēng)量；

5）空氣壓力差；

6）噪聲聲級；

7）換氣次數：≥25次/h；

8）實(shí)驗室自?xún)魰r(shí)間：10000級少于30分鐘。

9）其它技術(shù)指標。