1.系統
室內的空氣凈化系統可分為水平層流、垂直層流和亂流。選擇氣流形式一則參照慣例，二則取決于房間的工作參數。
2.潔凈度與換氣次數
房間的潔凈度取決于單位時(shí)間的換氣次數，因此慎密考慮房間的工作性質(zhì)、以及生產(chǎn)工藝要求，再決定凈化系統的技術(shù)參數。
3.結構
為了保證氣流幾乎不受干擾，就必須進(jìn)行結構設計，必要的謹慎可以防止房間里任何地方的灰塵積累。
4.設計方案
要確定設計方案，必須先對房間的工作性質(zhì)以及其中的氣流條件進(jìn)行認真的考慮。發(fā)塵量大的車(chē)間不宜采用地面送風(fēng)形式，潔凈度要求高的車(chē)間應盡可能遠離其它車(chē)間。
5.材料
作為潔凈室頂棚，墻面和地板的材料必須是不宜破裂、不易沾顆粒，以及幾乎不起塵的材料，另外根據房間不同的工作條件，還必須考慮材料的化學(xué)性能是否穩定。
6.壓力和氣流
為了保證房間的潔凈度，必須防止外面污染氣流進(jìn)入室內，要達到這個(gè)目的，房間里必須保持正壓。為了獲得所要求的房間壓力，必須補充適當的新鮮空氣。
7.輔助設備
必要時(shí)還得安置一些輔助設備：如新風(fēng)口的空氣指示儀，隔斷上的傳遞窗等。這些設備必須適合房間的要求，并且必須真正了解其功能.
8.人和物的控制
人和物是潔凈室的主要塵源，因此必須充分控制，例如：在進(jìn)入凈化房前，所有的人都要經(jīng)過(guò)人凈系統，更換無(wú)塵衣，并且要接受凈化系統功能的基本教育。
9.給排水和送風(fēng)裝置及電源
根據所要運行的車(chē)間，提供必須的給排水裝置，送風(fēng)裝置和電源，這些裝置和所涉及的設備必須易于使用和設計，同時(shí)不得有勃于空氣凈化系統。
潔凈室的規劃 一般性的規劃重點(diǎn)
潔凈室的整廠(chǎng)規劃(Turn Key Projects)(如表3-1)，因涉及范圍極廣，需建筑、水電、空調、環(huán)保、防震、制造等各項專(zhuān)業(yè)人才共同規劃，盡管不少潔凈室規劃，多需要就于既有的建筑物，然而，為避免失誤應盡可能事先確認下列事項：
| 1. 潔凈度等級。 |
2. 室壓之平衡措施。 |
| 3. 溫濕度要求。 |
4. 機器設備之必要性。 |
| 5. 確定生產(chǎn)流程。 |
6. 局部排氣之必要性。 |
| 7. 日后擴充彈性。 |
8. 足夠維護保養空間。 |
| 9. 空調送風(fēng)方式。 |
10. 員工休息區之安排。 |
| 11. 設施與動(dòng)力之配置。 |
12. 室內凈高與樓板載重。 |
| 13. 設備空間與管道間。 |
14. 門(mén)窗宜少，氣密性要佳。 |
| 15. 靜電、振動(dòng)及噪音。 |
16. 生產(chǎn)線(xiàn)與活動(dòng)線(xiàn)少交叉。 |
| 17. 公害、污染與防災。 |
18. 安裝及運轉成本之衡量。 |
潔凈室的動(dòng)線(xiàn)規劃
所謂[動(dòng)線(xiàn)]，是指人員、原料之入室路線(xiàn)，與人員與成品的出室路線(xiàn)。規劃時(shí)，要檢討分析人(車(chē))路徑、配管系統、排氣管道、原料搬運和作業(yè)之流程等，盡量縮短動(dòng)線(xiàn)，并避免交叉，以防止交叉污染(Cross Contamination)。
要點(diǎn)：
1． 作業(yè)者、材料、化學(xué)藥品等動(dòng)線(xiàn)勿集中。
2． 制造裝置之出入，需不對作業(yè)產(chǎn)生大影響。
3． 超潔凈室四周，宜設緩沖區(即較差潔凈區)。
工業(yè)潔凈室(ICR)之潔凈度與適用和分類(lèi)表
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潔凈度
產(chǎn)業(yè)別 |
潔凈度(≥0.5μm，個(gè)/ft3) |
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1 |
10 |
100 |
1000 |
10000 |
100000 | |
| LSI制造工程 |
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| LSI組立檢查工程 |
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| (矽)單結晶 |
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| 照像光罩photo mask |
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| 光阻涂膜photoresist |
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| 一般液晶(tn,stn) |
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| 顯示用液晶(tft,mim) |
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| 投影用液晶(tft) |
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| 混合(hybrid)IC |
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| 印刷基板材料 |
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| 印刷配線(xiàn)板 |
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| 電晶體、二極體 |
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| 精密電子部品 |
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| 磁頭 |
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| 磁碟 |
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| 電腦、磁碟裝置組立 |
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錄影帶、光碟 |
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照像底片 |
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| 光織 |
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| 精密軸承 |
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光學(xué)鏡片 |
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| 半導體制造裝置 |
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| 潔凈管及閥類(lèi) |
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| LSI制造用化學(xué)藥品 |
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| 精密測定機制造 |
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| 清洗無(wú)壓衣 |
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| 印刷、制版 |
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生物潔凈室(BCR)之潔凈度與適用和分類(lèi)表
潔凈度
產(chǎn)業(yè)別 |
潔凈度(≥0.5μm，個(gè)/ft3) |
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| (醫藥品) |
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| 抗生物質(zhì) |
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| 注射藥 |
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血清 |
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藥劑包裝過(guò)程 |
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醫療用器具 |
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(病院) |
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無(wú)菌手術(shù)室 |
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手術(shù)室 |
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無(wú)菌病室 |
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調劑室 |
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(食品) |
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牛乳·乳制品 |
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食肉·食肉加工 |
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煉乳制品 |
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清酒·酒類(lèi) |
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糕餅·豆腐 |
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制果·面包 |
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(動(dòng)物實(shí)驗) |
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飼養區 |
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隔離區 |
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其他 |
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磨茹·菌類(lèi)培養 |
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觀(guān)葉植物培養 |
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化妝品 |
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美國太空署(NASA)之無(wú)菌室規范重點(diǎn)(NHB-5340.2)
| 無(wú)菌室(BCR)潔凈等級 |
微粒子 |
微生物 |
| 粒徑 |
累積粒子數
個(gè)/ft3(個(gè)/L) |
浮游量
個(gè)/ft3(個(gè)/L) |
沈降量
個(gè)/ft2(個(gè)/M2) |
| 100 |
≥0.5 |
≤100(≤3.5) |
≤0.1(0.0035) |
1200(12900) |
| 10000 |
≥0.5 |
≤10000(≤350) |
≤0.5(0.0176) |
6000(64600) |
| ≥0.5 |
≤65(≤2.3) |
| 100000 |
≥0.5 |
≤100000(≤3500) |
≤2.5(0.0884) |
3000(323000) |
| ≥5.0 |
≤700(≤25) |
FS-209E潔凈度等級(1992年)
| 粒徑大小 |
≥0.1μm |
≥0.2μm |
≥0.3μm |
≥0.5μm |
≥5μm |
| 微粒子數 |
個(gè)/M3 |
個(gè)/ft3 |
個(gè)/M3 |
個(gè)/ft3 |
個(gè)/M3 |
個(gè)/ft3 |
個(gè)/M3 |
個(gè)/ft3 |
個(gè)/M3 |
個(gè)/ft3 |
| S1制級 |
英制級 |
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|
M1 |
|
350 |
9.01 |
75.7 |
2.14 |
30.9 |
0.875 |
10.0 |
0.283 |
|
|
|
M1.5 |
1 |
1240 |
|
265 |
7.50 |
106 |
3.00 |
35.3 |
1.00 |
|
|
|
M2 |
|
3500 |
35.0 |
757 |
21.4 |
309 |
8.75 |
100 |
2.83 |
|
|
|
M2.5 |
10 |
124000 |
|
2650 |
75.0 |
1060 |
30.0 |
353 |
10.0 |
|
|
|
M3 |
|
35000 |
99.1 |
7570 |
214 |
3090 |
87.5 |
1000 |
28.3 |
|
|
|
M3.5 |
100 |
|
|
26500 |
750 |
10600 |
300 |
3530 |
100 |
|
|
|
M4 |
|
|
|
75700 |
2140 |
30900 |
875 |
10000 |
283 |
|
|
|
M4.5 |
1000 |
|
|
|
|
|
|
35300 |
1000 |
247 |
7.00 |
|
M5 |
|
|
|
|
|
|
|
100000 |
2830 |
618 |
17.5 |
|
M5.5 |
10000 |
|
|
|
|
|
|
353000 |
10000 |
2470 |
70.0 |
|
M6 |
|
|
|
|
|
|
|
1000000 |
28300 |
6180 |
170 |
|
M6.5 |
100000 |
|
|
|
|
|
|
3530000 |
100000 |
24700 |
700 |
|
M7 |
|
|
|
|
|
|
|
10000000 |
283000 |
